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3、高对比光栅(HCG)相控阵。它采用高对比光栅(High-indexconstrastgrating,HCG)实现宽带反射镜;利用微机电MEMS技术的电控调相。有明显的优势与半导体工艺兼容、电控相位变化、调制速度快(近MHz);但是单元数量有待增加、单元尺寸有待进一步缩小。
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总的来说,光束扫描(Beamstearing)在激光雷达、光电探测、光电对抗等军事领域,及新型投影技术、空间光通信等民用领域具有广泛应用前景。光相控阵与微波相控阵原理类似,即在光频上实现相干调相以实现光束扫描;光相控阵的关键是设计高效率、高稳定性、高集成度的光相位控制单元;光相控阵有望实现全固态、电驱动的光束扫描,将极大提光束扫描的速度、集成度和可靠性;基于硅基光子学的光相控阵技术具有与CMOS工艺兼容、集成度高、调制速度快等优点,是目前研究的热点。
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